微电子洁净厂房的特点和火灾危险性

  (1)厂房内大量存在用特殊的板材设置的洁净室。洁净室是个相对密闭空间，有的还是无窗密闭体。一般不设置开启通风窗，密闭空间若发生火灾，热量难于散发，产生大量烟气，给人员疏散和消防队的扑救造成较大困难。

  (2)厂房对工艺加工设施精度和自动化程度要求很高，因而建筑以及生产设备投资十分昂贵，若发生火灾，会导致非常严重的经济损失。

  (3)厂房操作工艺大多需使用易燃、易爆液体或气体。一旦有液体或气体泄漏，就非常有可能引发火灾、爆炸。

  (4)洁净室的电气设备较多，线路大多为暗敷，检修很难，有了故障及火灾时不易发现。

  (5)厂房内有许多管道(如通风管、电缆管)跨楼层相通，发生火灾，火势会顺着管道迅速蔓延。

  (6)厂房内的走廊、通道管，由于工艺的特别的条件，都布置得迂回曲折，人员疏散困难。

  (7)室内装修使用了一些高分子合成材料，这些材料在燃烧时产生浓烟，散发毒气，有的燃烧速度极快。

  二、鉴于微电子工业类洁净厂房的特殊性和火灾危险性，建筑防火设计中应注意以下方面：

  2、洁净厂房楼层数的判定：由于工艺技术要求，洁净厂房的层高一般较普通厂房高，并需要设置上下技术夹层或技术夹道，夹层内设置一些设备、风机、风管、电缆、气体和液体的输送管道。它与洁净区之间由镂空地板、吊顶或错综复杂的管道上下连通。如果将技术夹层算为独立的一层，防火分隔显然很困难，笔者借鉴专家的意见认为可将上下技术夹层及生产区作为一层来考虑，但应在上下夹层内设置相应的消防设施。

  3、洁净厂房的防火分区。由于工艺的需要，生产车间生产线余米，按照《民用建筑规划设计防火规范》的要求设置防火分区完全不现实。鉴于该类工业的从业人员少，如果加强安全疏散条件和防火灭火设施配备，可按照生产要设置防火分区。

  1、安全出口与疏散通道：在洁净厂房的设计中，人员的安全疏散是特别的重要，也是较复杂的。应按照《洁净厂房设计规范》要求每一生产层、每一防火分区或每一洁净区的安全出口数量，均不应该少于二个，且安全出口应当分散布置。设计时应尽量使疏散路线与工艺流程分隔开，满足从任何一处生产地点至安全出口不经过曲折的人员净化路径，应直接明了避免曲折，且在走上设置明显的指示标志。

  2、火灾扑救出入口的要求：由于洁净厂房是个封闭间，若发生火灾，给消防队员的扑救带来困难，因此规范要求洁净厂房的外墙应设可供消防队员通往厂房洁净区的专用消防口，消防口的间距不大于80m，其宽度不应小于750mm，高度不小于1900mm，应有明显标志，消防口平时可封闭，使用时由消防队员从室外打开。设计中在厂房内的火灾扑救入口门应尽量开设在楼梯间内或疏散走道上，保证灭火人员的自身安全。

  洁净室的顶棚和壁板(包括夹芯材料)应为不燃烧体，且不得采用有机复合材料，洁净生产与一般生产区域之间应设置不燃烧体隔断设施。这样做才能够避免因室内任何一方发生火灾殃及另外一方，避免燃烧时产生窒息性气体、有害化学气体等。目前国内外制造厂家生产的洁净室用金属壁板，大部分均能满足上述要求。

  1、洁净室的生产层及上下技术加层(不含不通行的技术夹层)，均应设置室内消火栓。消火栓的用水量不小于10L/s，每支水枪的出水量应不小于5L/s。

  2、洁净厂房内设有贵重设备、仪器的房间应设置固定灭火设施。当设置自动喷水灭火系统时，宜采用预作用式自动喷水灭火系统，当设置气体灭火系统时，不应采用能导致人员窒息和对保护对象产生二次损害的灭火剂。

  由于洁净厂房室内大量使用金属板材，一般屏蔽效果很强。所以在洁净厂房内应设置一套完善的消防通讯设施。这套设施不仅为内部职工在发生火灾后报警和通讯使用，更应提供参与灭火的消防官兵使用，以确保火场通讯的畅通，减少不必要的通讯中断和通讯故障，以确保灭火人员的生命安全。

  1、易燃、易爆区域的排风应与一般区域分开，单独设置，并选择防爆型排风风机。

  2、为保证生产安全和员工安全，应设置事故排风系统。事故排风系统应设自动和手动控制开关，手动控制开关应分别设在洁净室及洁净室外便于操作的地点。

  3、洁净厂房的走廊，应设置机械防排烟设施。洁净厂房内管线种类较多，若增加一套防排烟管道有很大难度，洁净室机械防排烟系统可于通风、净化空调系统合用，但一定要采取可靠的防火安全措施。

  1、洁净厂房内应设置供人员疏散用的应急照明和疏散指示标志。在消防口处应设置红色应急照明灯。

  2、洁净厂房内应设置备用照明，满足所需要的场所或部位进行各项活动和工作所需的最低照度，一般不应低于正常照明照度标准的1/10。

  3、洁净厂房生产区(包括技术夹层)、机房、站房等均应设置火灾报警探测器。洁净厂房生产区及走廊应设置手动火灾报警按钮。

  4、洁净室内可能会产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉体管道应采取防静电接地措施。

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